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Herstellung von keramischen Hartstoffschichten nach dem CVD-Verfahren und nach dem PECVD-Verfahren mit Mikrowellen-Multipolar-Plasma unterstuetzt durch DECR (Distributed Electron Cyclotron Resonance)
Herstellung von keramischen Hartstoffschichten nach dem CVD-Verfahren und nach dem PECVD-Verfahren mit Mikrowellen-Multipolar-Plasma unterstuetzt durch DECR (Distributed Electron Cyclotron Resonance)
Herstellung von keramischen Hartstoffschichten nach dem CVD-Verfahren und nach dem PECVD-Verfahren mit Mikrowellen-Multipolar-Plasma unterstuetzt durch DECR (Distributed Electron Cyclotron Resonance)
Hrovat, M. (Autor:in) / Porth, H. (Autor:in) / Brennfleck, K. (Autor:in) / Germany; Federal Republic; Bundesministers fur Forschung und Technologie
2 Symposium, Materialforschung ; 1991 ; Dresden; Germany
01.01.1993
19 pages
In 3 vols. Vols 1-2 received only
Aufsatz (Konferenz)
Deutsch
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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KERAMISCHEN FORMKÖRPERS
Europäisches Patentamt | 2017
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Europäisches Patentamt | 2017
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