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Development problems of a nanometer coordinate measuring machine (NCMM) [4100-30]
Development problems of a nanometer coordinate measuring machine (NCMM) [4100-30]
Development problems of a nanometer coordinate measuring machine (NCMM) [4100-30]
Petersen, R. (Autor:in) / Rothe, H. (Autor:in) / Gu, Z.-H. / Maradudin, A. A. / SPIE
Conference; 3rd, Scattering and surface roughness ; 2000 ; San Diego, CA
01.01.2000
6 pages
Aufsatz (Konferenz)
Englisch
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