Fire hazards of wafer carriers in clean room environment: Fid-Bau Portal

Fire hazards of wafer carriers in clean room environment

Wu, P. / Chaffee, J. / Peterkin, H.

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Titel:

Fire hazards of wafer carriers in clean room environment

Beteiligte:

Wu, P. (Autor:in) / Chaffee, J. (Autor:in) / Peterkin, H. (Autor:in)

Kongress:

8th:; International Conference, Fire and materials ; 2003 ; San Francisco, CA

Erschienen in:

Fire and materials ; 117-130

PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL FIRE AND MATERIALS CONFERENCE; 8TH 2003

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

14 pages

Medientyp:

Aufsatz (Konferenz)

Format:

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

Fire , Materials

Wu, P.K.S. / Chaffee, J.L. / Peterkin, H. | Tema Archiv | 2003

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