Phase transformation and preferred orientation in carboxylate derived ZrO~2 thin films on silicon substrates: Fid-Bau Portal

Phase transformation and preferred orientation in carboxylate derived ZrO~2 thin films on silicon substrates

Chu, P.-Y. / Campion, I. / Buchanan, R. C.

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Titel:

Phase transformation and preferred orientation in carboxylate derived ZrO~2 thin films on silicon substrates

Beteiligte:

Chu, P.-Y. (Autor:in) / Campion, I. (Autor:in) / Buchanan, R. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 7 ; 3065

Erscheinungsdatum:

01.01.1992

Format / Umfang:

3065 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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