Thermal Process Dependence of Chromium Donor/Acceptor in Silicon: Fid-Bau Portal

Thermal Process Dependence of Chromium Donor/Acceptor in Silicon

Takiyama, M. / Ohtsuka, S. / Tachimori, M.

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Titel:

Thermal Process Dependence of Chromium Donor/Acceptor in Silicon

Beteiligte:

Takiyama, M. (Autor:in) / Ohtsuka, S. (Autor:in) / Tachimori, M. (Autor:in) / Taguchi, T.

Erschienen in:

Shallow Impurities in Semiconductors ; 261

MATERIALS SCIENCE FORUM

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

261 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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