Properties of dry-etched CdTe-epitaxial layer surfaces and microstructures: Fid-Bau Portal

Properties of dry-etched CdTe-epitaxial layer surfaces and microstructures

Neswal, M. / Gresslehner, K. H. / Lischka, K. / Bauer, P.

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Titel:

Properties of dry-etched CdTe-epitaxial layer surfaces and microstructures

Beteiligte:

Neswal, M. (Autor:in) / Gresslehner, K. H. (Autor:in) / Lischka, K. (Autor:in) / Bauer, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 16 ; 108

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

108 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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