Modification of GaAs surface stoichiometry and reactivity induced by a hydrogen plasma: Fid-Bau Portal

Modification of GaAs surface stoichiometry and reactivity induced by a hydrogen plasma

Debiemme-Chouvy, C. / Ballutaud, D. / Pesant, J. C. / Severac, C.

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Titel:

Modification of GaAs surface stoichiometry and reactivity induced by a hydrogen plasma

Beteiligte:

Debiemme-Chouvy, C. (Autor:in) / Ballutaud, D. (Autor:in) / Pesant, J. C. (Autor:in) / Severac, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 65//66 ; 643

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

643 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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