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    Titel:

    Cracking and delamination of metal organic vapour deposited alumina and silica films

    Beteiligte:

    Haanappel, V. A. C. (Autor:in) / Van Corbach, H. D. (Autor:in) / Fransen, T. (Autor:in) / Gellings, P. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 167 ; 179

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    179 pages

    ISSN:

    0921-5093

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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