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Chemistry of silicon oxide annealed in ammonia

Wong, H. / Yang, B. L. / Cheng, Y. C.

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Titel:

Chemistry of silicon oxide annealed in ammonia

Beteiligte:

Wong, H. (Autor:in) / Yang, B. L. (Autor:in) / Cheng, Y. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 72 ; 49

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

49 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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