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    Titel:

    Microstructural analysis and modeling of RuO~2 thin film resistors

    Beteiligte:

    Jia, Q. X. (Autor:in) / Jiao, K. L. (Autor:in) / Anderson, W. A. (Autor:in) / Collins, F. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 20 ; 301

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    301 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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