Selective tungsten CVD on sputtered tungsten for via fill: Fid-Bau Portal

Selective tungsten CVD on sputtered tungsten for via fill

Schulz, S. E. / Hintze, B. / Gessner, T. / Wolf, H.

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Titel:

Selective tungsten CVD on sputtered tungsten for via fill

Beteiligte:

Schulz, S. E. (Autor:in) / Hintze, B. (Autor:in) / Gessner, T. (Autor:in) / Wolf, H. (Autor:in) / Janssen, G. C. A. M. / Jongste, J. F. / Radelaar, S.

Erschienen in:

Proceedings of the Fifth European Workshop on Refractory Metals and Silicides ; 42

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 72

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

42 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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