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Stress-Induced Void Formation in Metal Lines

Flinn, P. A. / Mack, A. S. / Besser, P. R. / Marieb, T. N.

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Titel:

Stress-Induced Void Formation in Metal Lines

Beteiligte:

Flinn, P. A. (Autor:in) / Mack, A. S. (Autor:in) / Besser, P. R. (Autor:in) / Marieb, T. N. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 18 ; 26

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

26 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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