Particularities of the Zn Diffusion into InGaAsP from Spin-On Polymer Films: Fid-Bau Portal

Particularities of the Zn Diffusion into InGaAsP from Spin-On Polymer Films

Ber, B. Y. / Busygina, L. A. / Gorelenok, A. T. / Kamanin, A. V.

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Titel:

Particularities of the Zn Diffusion into InGaAsP from Spin-On Polymer Films

Beteiligte:

Ber, B. Y. (Autor:in) / Busygina, L. A. (Autor:in) / Gorelenok, A. T. (Autor:in) / Kamanin, A. V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1415

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

1415 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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