Vacuum ultraviolet photolysis of supersonic free jets of SiH~4: Fid-Bau Portal

Vacuum ultraviolet photolysis of supersonic free jets of SiH~4

Fons, P. / Motooka, T. / Awazu, K. / Onuki, H.

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Titel:

Vacuum ultraviolet photolysis of supersonic free jets of SiH~4

Beteiligte:

Fons, P. (Autor:in) / Motooka, T. (Autor:in) / Awazu, K. (Autor:in) / Onuki, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 79/80 ; 476

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

476 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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