Temperature dependence of sputtering yield of GaAs under 30 keV Ar^+ bombardment: Fid-Bau Portal

Temperature dependence of sputtering yield of GaAs under 30 keV Ar^+ bombardment

Bhattacharyya, S. R. / Ghose, D. / Basu, D.

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Titel:

Temperature dependence of sputtering yield of GaAs under 30 keV Ar^+ bombardment

Beteiligte:

Bhattacharyya, S. R. (Autor:in) / Ghose, D. (Autor:in) / Basu, D. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 13 ; 1192

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

1192 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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