Correlation of micro-non-uniformities and electron mobility in undoped liquid-encapsulated Czochralski and vertical-gradient freeze GaAs: Fid-Bau Portal

Correlation of micro-non-uniformities and electron mobility in undoped liquid-encapsulated Czochralski and vertical-gradient freeze GaAs

Siegel, W. / Kuehnel, G. / Kretzer, U.

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Titel:

Correlation of micro-non-uniformities and electron mobility in undoped liquid-encapsulated Czochralski and vertical-gradient freeze GaAs

Beteiligte:

Siegel, W. (Autor:in) / Kuehnel, G. (Autor:in) / Kretzer, U. (Autor:in) / Fornari, R.

Erschienen in:

2nd International Workshop on Expert Evaluation and Control of Compound Semiconductor Materials and Technologies ; 84

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 28

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

84 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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