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Quantitative Analyse von nichtstoechiometrischen Titannitrid-Schichten

Stock, H.-R. / Hoehl, F. / Mayr, P.

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Titel:

Quantitative Analyse von nichtstoechiometrischen Titannitrid-Schichten

Beteiligte:

Stock, H.-R. (Autor:in) / Hoehl, F. (Autor:in) / Mayr, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 26 ; 27

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

27 pages

ISSN:

0933-5137

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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