Platinium gettering in silicon: precipitation of PtSi on diffusion induced dislocations and on SiP precipitates: Fid-Bau Portal

Platinium gettering in silicon: precipitation of PtSi on diffusion induced dislocations and on SiP precipitates

Correia, A. / Pichaud, B. / Lhorte, A. / Quoirin, J. B.

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Titel:

Platinium gettering in silicon: precipitation of PtSi on diffusion induced dislocations and on SiP precipitates

Beteiligte:

Correia, A. (Autor:in) / Pichaud, B. (Autor:in) / Lhorte, A. (Autor:in) / Quoirin, J. B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 11 ; 691

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

691 pages

ISSN:

0267-0836

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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