Oxygen Precipitation in CZ Silicon Crystals Contaminated with Iron: Fid-Bau Portal

Oxygen Precipitation in CZ Silicon Crystals Contaminated with Iron

Jablonski, J. / Shen, B. / McHedlidze, T. R. / Imai, M. / Sumino, K.

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Titel:

Oxygen Precipitation in CZ Silicon Crystals Contaminated with Iron

Beteiligte:

Jablonski, J. (Autor:in) / Shen, B. (Autor:in) / McHedlidze, T. R. (Autor:in) / Imai, M. (Autor:in) / Sumino, K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1859-1864

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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