ODMR Investigation of Near-Surface Damage Induced by Dry-Etching Process Using GaAs/AlAs Quantum Well Structures: Fid-Bau Portal

ODMR Investigation of Near-Surface Damage Induced by Dry-Etching Process Using GaAs/AlAs Quantum Well Structures

Mochizuki, Y. / Mizuta, M. / Mochizuki, A.

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Titel:

ODMR Investigation of Near-Surface Damage Induced by Dry-Etching Process Using GaAs/AlAs Quantum Well Structures

Beteiligte:

Mochizuki, Y. (Autor:in) / Mizuta, M. (Autor:in) / Mochizuki, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1927-1932

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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