RF aerosol plasma fabrication of indium tin oxide and tin oxide thin films: Fid-Bau Portal

RF aerosol plasma fabrication of indium tin oxide and tin oxide thin films

Lee, D. H. / Vuong, K. D. / Williams, J. A. A. / Fagan, J. / Condrate, R. A. / Wang, X. W.

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Titel:

RF aerosol plasma fabrication of indium tin oxide and tin oxide thin films

Beteiligte:

Lee, D. H. (Autor:in) / Vuong, K. D. (Autor:in) / Williams, J. A. A. (Autor:in) / Fagan, J. (Autor:in) / Condrate, R. A. (Autor:in) / Wang, X. W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 895-903

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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