Micro-Raman study of UV laser ablation of GaAs and Si substrates: Fid-Bau Portal

Micro-Raman study of UV laser ablation of GaAs and Si substrates

Garcia, C. / Ramos, J. / Prieto, A. C. / Jimenez, J. / Geertsen, C. / Lacour, J. L. / Mauchien, P.

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Titel:

Micro-Raman study of UV laser ablation of GaAs and Si substrates

Beteiligte:

Garcia, C. (Autor:in) / Ramos, J. (Autor:in) / Prieto, A. C. (Autor:in) / Jimenez, J. (Autor:in) / Geertsen, C. (Autor:in) / Lacour, J. L. (Autor:in) / Mauchien, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 96/98 ; 370-375

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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