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Excimer laser ablation for micro-machining: geometric effects

Dyer, P. E. / Karnakis, D. M. / Key, P. H. / Monk, P.

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Titel:

Excimer laser ablation for micro-machining: geometric effects

Beteiligte:

Dyer, P. E. (Autor:in) / Karnakis, D. M. (Autor:in) / Key, P. H. (Autor:in) / Monk, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 96/98 ; 415-419

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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