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Sputtering induced roughening effects on ion beam profiling of multilayers

Galdikas, A. / Pranevicius, L. / Templier, C.

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Titel:

Sputtering induced roughening effects on ion beam profiling of multilayers

Beteiligte:

Galdikas, A. (Autor:in) / Pranevicius, L. (Autor:in) / Templier, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 103 ; 471-477

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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