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Microhardness and surface roughness of silicon carbide by chemical vapour deposition

Kim, D.-J. / Choi, D.-J.

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Titel:

Microhardness and surface roughness of silicon carbide by chemical vapour deposition

Beteiligte:

Kim, D.-J. (Autor:in) / Choi, D.-J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 16 ; 286-289

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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