Correlation between plasma dynamics and thin film properties in pulsed laser deposition: Fid-Bau Portal

Correlation between plasma dynamics and thin film properties in pulsed laser deposition

Kwok, H. S. / Kim, H. S. / Kim, D. H. / Shen, W. P. / Sun, X. W. / Xiao, R. F.

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Titel:

Correlation between plasma dynamics and thin film properties in pulsed laser deposition

Beteiligte:

Kwok, H. S. (Autor:in) / Kim, H. S. (Autor:in) / Kim, D. H. (Autor:in) / Shen, W. P. (Autor:in) / Sun, X. W. (Autor:in) / Xiao, R. F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 109/110 ; 595-600

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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