Development of flat, smooth (100) faceted diamond thin films using microwave plasma chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Development of flat, smooth (100) faceted diamond thin films using microwave plasma chemical vapor deposition

Yee, A. L. / Ong, H. C. / Stewart, L. M. / Chang, R. P. H.

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Titel:

Development of flat, smooth (100) faceted diamond thin films using microwave plasma chemical vapor deposition

Beteiligte:

Yee, A. L. (Autor:in) / Ong, H. C. (Autor:in) / Stewart, L. M. (Autor:in) / Chang, R. P. H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 1796-1805

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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