Hydrogen and Nitrogen Loss during ERD Analysis of Silicon (Oxy)nitrides: Fid-Bau Portal

Hydrogen and Nitrogen Loss during ERD Analysis of Silicon (Oxy)nitrides

Wallace, S. G. / Kockelkoren, A. C. / Boudreau, M. G. / Mascher, P. / Forster, J. S. / Davies, J. A.

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Titel:

Hydrogen and Nitrogen Loss during ERD Analysis of Silicon (Oxy)nitrides

Beteiligte:

Wallace, S. G. (Autor:in) / Kockelkoren, A. C. (Autor:in) / Boudreau, M. G. (Autor:in) / Mascher, P. (Autor:in) / Forster, J. S. (Autor:in) / Davies, J. A. (Autor:in) / Balogh, A. G. / Walter, G.

Erschienen in:

Materials Science Applications of Ion Beam Techniques ; 381-384

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 248/249

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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