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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Annealing induced interdiffusion and crystallization in sputtered amorphous Si/Ge multilayers

    Beteiligte:

    Czigany, Z. (Autor:in) / Radnoczi, G. (Autor:in) / Jaerrendahl, K. (Autor:in) / Sundgren, J.-E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 2255-2261

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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