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Metal Disilicide Contacts to 6H-SiC

Kriz, J. / Scholz, T. / Gottfried, K. / Leibelt, J. / Kaufmann, C. / Gessner, T.

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Titel:

Metal Disilicide Contacts to 6H-SiC

Beteiligte:

Kriz, J. (Autor:in) / Scholz, T. (Autor:in) / Gottfried, K. (Autor:in) / Leibelt, J. (Autor:in) / Kaufmann, C. (Autor:in) / Gessner, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268 ; 775-778

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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