Growth of Epitaxial Cubic SiC Thin Films Using Single Source Precursors: Fid-Bau Portal

Growth of Epitaxial Cubic SiC Thin Films Using Single Source Precursors

Boo, J.-H. / Lee, S.-B. / Ustin, S. A. / Ho, W. / Maruska, H. P. / Norris, P. E. / Kim, I.-H. / Sung, C.

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Titel:

Growth of Epitaxial Cubic SiC Thin Films Using Single Source Precursors

Beteiligte:

Boo, J.-H. (Autor:in) / Lee, S.-B. (Autor:in) / Ustin, S. A. (Autor:in) / Ho, W. (Autor:in) / Maruska, H. P. (Autor:in) / Norris, P. E. (Autor:in) / Kim, I.-H. (Autor:in) / Sung, C. (Autor:in) / Pensl, G. / Morkoc, H.

Erschienen in:

Silicon Carbide, III-Nitrides and Related Materials ; 187-190

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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