Silicon Surface Defects: The Roles of Passivation and Surface Contamination: Fid-Bau Portal

Silicon Surface Defects: The Roles of Passivation and Surface Contamination

Reddy, A. J. / Burr, T. A. / Chan, J. K. / Norga, G. J. / Michel, J. / Kimerling, L. C.

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Titel:

Silicon Surface Defects: The Roles of Passivation and Surface Contamination

Beteiligte:

Reddy, A. J. (Autor:in) / Burr, T. A. (Autor:in) / Chan, J. K. (Autor:in) / Norga, G. J. (Autor:in) / Michel, J. (Autor:in) / Kimerling, L. C. (Autor:in) / Davies, G. / Nazare, M. H.

Erschienen in:

Defects in Semiconductors: ICDS 19 ; 1719-1724

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 258/263

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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