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Phonon scattering in heat-treated CZ-silicon

Zeller, F. / Wurster, C. / Lassmann, K. / Eisenmenger, W.

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Titel:

Phonon scattering in heat-treated CZ-silicon

Beteiligte:

Zeller, F. (Autor:in) / Wurster, C. (Autor:in) / Lassmann, K. (Autor:in) / Eisenmenger, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 258/263 ; 399-404

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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