CAD tools and foundries to boost microsystems development: Fid-Bau Portal

CAD tools and foundries to boost microsystems development

Courtois, B. / Karam, J. M. / Lubaszewski, M. / Szekely, V. / Rencz, M. / Hofmann, K. / Glesner, M.

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Titel:

CAD tools and foundries to boost microsystems development

Beteiligte:

Courtois, B. (Autor:in) / Karam, J. M. (Autor:in) / Lubaszewski, M. (Autor:in) / Szekely, V. (Autor:in) / Rencz, M. (Autor:in) / Hofmann, K. (Autor:in) / Glesner, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 51 ; 242-253

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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