The effects of aluminium composition on the mechanical properties of reactivity sputtered TiAlN films: Fid-Bau Portal

The effects of aluminium composition on the mechanical properties of reactivity sputtered TiAlN films

Lii, D.-F.

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Titel:

The effects of aluminium composition on the mechanical properties of reactivity sputtered TiAlN films

Beteiligte:

Lii, D.-F. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 33 ; 2137-2145

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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