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XAES and XPS study of amorphous carbon nitride layers

Zemek, J. / Zalman, J. / Luches, A.

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Titel:

XAES and XPS study of amorphous carbon nitride layers

Beteiligte:

Zemek, J. (Autor:in) / Zalman, J. (Autor:in) / Luches, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 133 ; 27-32

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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