Mechanical properties of TiN thin films investigated using biaxial tensile testing: Fid-Bau Portal

Mechanical properties of TiN thin films investigated using biaxial tensile testing

Shojaei, O. R. / Kruml, T. / Karimi, A. / Martin, J. L.

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Titel:

Mechanical properties of TiN thin films investigated using biaxial tensile testing

Beteiligte:

Shojaei, O. R. (Autor:in) / Kruml, T. (Autor:in) / Karimi, A. (Autor:in) / Martin, J. L. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 14 ; 240-245

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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