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Cathodic Arc Evaporation - A Versatile Tool for Thin Film Deposition

Richter, F. / Krannich, G. / Kuehn, M. / Peter, S. / Spaeth, C.

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Titel:

Cathodic Arc Evaporation - A Versatile Tool for Thin Film Deposition

Beteiligte:

Richter, F. (Autor:in) / Krannich, G. (Autor:in) / Kuehn, M. (Autor:in) / Peter, S. (Autor:in) / Spaeth, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 287/288 ; 193-198

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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