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Approaches for improving airflow uniformity in unidirectional flow cleanrooms

Cheng, M. / Liu, G. R. / Lam, K. Y. / Cai, W. J. / Lee, E. L.

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Titel:

Approaches for improving airflow uniformity in unidirectional flow cleanrooms

Beteiligte:

Cheng, M. (Autor:in) / Liu, G. R. (Autor:in) / Lam, K. Y. (Autor:in) / Cai, W. J. (Autor:in) / Lee, E. L. (Autor:in)

Erschienen in:

BUILDING AND ENVIRONMENT ; 34 ; 275-284

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0360-1323

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 690

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