SIO~2 thin film preparation using dielectric barrier discharge-driven excimer lamps: Fid-Bau Portal

SIO~2 thin film preparation using dielectric barrier discharge-driven excimer lamps

Takezoe, N. / Yokotani, A. / Kurosawa, K. / Sasaki, W. / Igarashi, T. / Matsuno, H.

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Titel:

SIO~2 thin film preparation using dielectric barrier discharge-driven excimer lamps

Beteiligte:

Takezoe, N. (Autor:in) / Yokotani, A. (Autor:in) / Kurosawa, K. (Autor:in) / Sasaki, W. (Autor:in) / Igarashi, T. (Autor:in) / Matsuno, H. (Autor:in) / Boyd, I. W. / Perriere, J. / Stuke, M.

Erschienen in:

Proceedings of Symposium G on Surface Processing: Laser, Lamp, Plasma of the 1998 E-MRS Spring Conference - Strasbourg, France, June 16-1998 ; 340-343

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 138/139

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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