Carbon nitride thin films deposited by nitrogen-ion-assisted KRF excimer ablation of graphite: Fid-Bau Portal

Carbon nitride thin films deposited by nitrogen-ion-assisted KRF excimer ablation of graphite

Feng, L. Y. / Min, R. Z. / Qiao, N. H. / Feng, H. Z. / Chan, D. S. H. / Seng, L. T. / Yin, C. S. / Gamani, K. / Geng, C. / Kun, L.

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Feng, L. Y. / Min, R. Z. / Qiao, N. H. / Feng, H. Z. / Chan, D. S. H. / Seng, L. T. / Yin, C. S. / Gamani, K. / Geng, C. / Kun, L.

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Titel:

Carbon nitride thin films deposited by nitrogen-ion-assisted KRF excimer ablation of graphite

Beteiligte:

Feng, L. Y. (Autor:in) / Min, R. Z. (Autor:in) / Qiao, N. H. (Autor:in) / Feng, H. Z. (Autor:in) / Chan, D. S. H. (Autor:in) / Seng, L. T. (Autor:in) / Yin, C. S. (Autor:in) / Gamani, K. (Autor:in) / Geng, C. (Autor:in) / Kun, L. (Autor:in)

Erschienen in:

Proceedings of Symposium G on Surface Processing: Laser, Lamp, Plasma of the 1998 E-MRS Spring Conference - Strasbourg, France, June 16-1998 ; 494-498

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 138/139

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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