Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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New gas chemistries for high-performance and chargeless dielectric etching
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Samukawa, S. (Autor:in) / Mukai, T. (Autor:in) / Noguchi, K. (Autor:in)
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 203-208
01.01.1999
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.38152
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