Epitaxial ZnO piezoelectric thin films for saw filters: Fid-Bau Portal

Epitaxial ZnO piezoelectric thin films for saw filters

Emanetoglu, N.W. / Gorla, C. / Liu, Y. / Liang, S. / Lu, Y.

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Titel:

Epitaxial ZnO piezoelectric thin films for saw filters

Beteiligte:

Emanetoglu, N.W. (Autor:in) / Gorla, C. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Liang, S. (Autor:in) / Lu, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 247-252

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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