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Polycrystalline diamond films for X-ray lithography mask
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Huang, B. R. (Autor:in) / Wu, C. H. (Autor:in) / Yang, K. Y. (Autor:in)
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 75 ; 61 - 67
01.01.2000
7 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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