Diamond and Diamond-like-Carbon Growth on Si (100) by Hot Filament-Assisted RF Plasma CVD: Fid-Bau Portal

Diamond and Diamond-like-Carbon Growth on Si (100) by Hot Filament-Assisted RF Plasma CVD

Roul, B. K. / Nayak, B. B. / Mishra, P. K. / Mohanty, B. C.

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Titel:

Diamond and Diamond-like-Carbon Growth on Si (100) by Hot Filament-Assisted RF Plasma CVD

Beteiligte:

Roul, B. K. (Autor:in) / Nayak, B. B. (Autor:in) / Mishra, P. K. (Autor:in) / Mohanty, B. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SYNTHESIS AND PROCESSING ; 7 ; 281-288

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1064-7562

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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