Carbonization on (100) Silicon for Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC: Fid-Bau Portal

Carbonization on (100) Silicon for Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC

Shimizu, H. / Ohba, T.

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Titel:

Carbonization on (100) Silicon for Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC

Beteiligte:

Shimizu, H. (Autor:in) / Ohba, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 261-264

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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