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Nanometer-scale characterization of lateral p-n+ junction by scanning capacitance microscope

Tomiye, H. / Yao, T.

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Titel:

Nanometer-scale characterization of lateral p-n+ junction by scanning capacitance microscope

Beteiligte:

Tomiye, H. (Autor:in) / Yao, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 159-160 ; 210-219

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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