Combined out-of-plane and in-plane texture control in thin films using ion beam assisted deposition: Fid-Bau Portal

Combined out-of-plane and in-plane texture control in thin films using ion beam assisted deposition

Dong, L. / Srolovitz, D. J. / Was, G. S. / Zhao, Q. / Rollett, A. D.

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Titel:

Combined out-of-plane and in-plane texture control in thin films using ion beam assisted deposition

Beteiligte:

Dong, L. (Autor:in) / Srolovitz, D. J. (Autor:in) / Was, G. S. (Autor:in) / Zhao, Q. (Autor:in) / Rollett, A. D. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 210-216

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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