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    Titel:

    RF heating of the conductor film on silicon substrate for thin film formation

    Beteiligte:

    Sinder, M. (Autor:in) / Pelleg, J. (Autor:in) / Meerovich, V. (Autor:in) / Sokolovsky, V. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 302 ; 31 - 36

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0921-5093

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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