Stress state of TiN/TiAlN PVD multilayers: Fid-Bau Portal

Stress state of TiN/TiAlN PVD multilayers

Zoestbergen, E. / Carvalho, N. J. M. / De Hosson, J. T. M.

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Titel:

Stress state of TiN/TiAlN PVD multilayers

Beteiligte:

Zoestbergen, E. (Autor:in) / Carvalho, N. J. M. (Autor:in) / De Hosson, J. T. M. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 17 ; 29-34

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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